半导体行业涉及哪些有害气体

2023.10.10　浏览量：178 次

半导体行业迅猛发展，在其生产过程中所需气体使用量不断加大，气体品类更加多样化，其中不乏一些易燃气体以及对人体产生危害的有毒有害气体，如何保证生产过程中的气体使用安全，也是行业关注的焦点。半导体行业在生产、制造、工艺等方面或多或少都会涉及到易燃易爆、有毒有害气体，为避免这些危险气体泄漏等导致的事故，半导体行业用气体检测仪的使用不可或缺，下面一起看看半导体行业涉及哪些有害气体？

半导体工业生产中涉及到有害气体的过程主要有刻蚀、掺杂、外延沉积。蚀刻是指有选择地从硅片上去除不需要的材料的过程，硅片蚀刻过程中涉及的气体主要包括CF4、SF6、C2F6、NF3 ，以及氯基（Cl2）和溴基（Br2、HBr）气体等，掺杂是指将杂质掺入半导体材料内，使材料具有一定的导电性，掺杂工艺涉及的气体包括砷烷、磷烷、三氟化磷、三氟化砷、三氟化硼、乙硼烷等气体。外延沉积是为了在衬底晶圆上镀上一层薄膜作为缓冲层阻止有害杂质进入硅衬底。常用的外延气体有四氯化硅、二氯二氢硅、硅烷以及乙硅烷等。这些气体部分易燃易爆、部分对人体有损伤，当然也存在即对人体有害又会燃烧爆炸的气体。

半导体生产过程中涉及的这些危险气体，一旦发生泄漏，哪怕是轻微泄漏都有可能带来严重的财产和安全隐患，为减小或避免这些损失，需使用到气体检测仪。半导体行业用气体检测仪推荐使用由西安赢润环保公司生产销售的便携式多参数气体检测仪ERUN-PG71S5，此款仪器能够同时检测1-5种气体，若泄漏气体达到报警限值时仪器第一时间就会发出报警信号，信号提示明显清晰，有效确保人员安全。传感器采用国际进口品牌，精度高、响应速度快、响应时间短。

半导体行业用气体检测仪技术参数
产品型号：ERUN-PG71S5
检测气体：砷烷、磷烷、三氟化磷、三氟化砷、三氟化硼、乙硼烷等气体
检测原理：电化学、催化燃烧、红外、热导、半导体、PID光离子等（根据量程、现场环境和用户需求而定）
检测方式：泵吸式
检测精度：≤±2%F.S（更高精度可订制）
防护等级：IP65
防爆类型：本质安全型ExiaⅡCT4Ga

上述即为半导体行业涉及哪些有害气体的相关介绍，半导体行业的相关人员应该在使用这些有害气体前对这些气体的危险情况加以了解，知道如何应对这些气体泄漏的情况。在可能泄漏的环境中安装使用半导体行业用气体检测仪，避免或减少这些气体泄漏造成人身安全或财产的损失，保证生产过程的安全持续运行。